장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
박막측정기 (Alpha-Step IQ Surface Profiler)
모델명
Alpha-Step IQ
제작사(국가)
KLA-Tencor(미국)
제작년도
2008
용도
분석
분류
물리적측정장비
취득일
2008.04.21
장비설명
박막 표면을 scanning하여 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고, 표면의 거칠기 및 상태를 확인
Silicon Wafer나 Glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어졌는지 확인 가능
장비구성

성능
Scan Length : Max.10 mm, Scan Speed : 2 µm/sec to 200 µm/sec
최대 측정단차 : 500 µm
측정단차 분해능 : 0.012Å @20 µm Range / 0.3Å @500 µm Range
Zoom Optics (88-247ⅹ)
Manual Precision X-Y Stage, 6.2" Diameter Theta Table
Acoustic Isolation Hood and Vibration Isolation Supports
NTIS NO
NFEC-2010-09-083501
E-Tube NO
0804-F-0114

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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